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3篇

出版年度

1989

3篇

作者

	Lee, Jong-Hyeon	3篇
	Kim, Bo-U	2篇
	Jang, Won-Ik	1篇
	Yu, Hyeong-Jun	1篇

来源期刊

ETRI Journal

3篇

学科主题

	应用物理学	3篇
	电信	3篇

语种

英文

3篇

国别/地区

韩国

3篇

检索条件:"( ( 高级检索(( ((AU:(("Lee, Jong-Hyeon")))) )) ) )"

共 3 条记录

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1.Excimer Laser를 이용한 노광기술-I. 광노광 기술의 추이 및 성능개선방안

作　　者：Lee, Jong-Hyeon ;Kim, Bo-U

出　　处：ETRI Journal. 1989 ;11(4):128-138.

出版社：Electronics and Telecommunications Research Institute

文章 ID：114422119

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2.Excimer Laser를 이용한 노광기술-II. Excimer Stepper의 특성 및 설계조건분석

作　　者：Lee, Jong-Hyeon ;Kim, Bo-U

出　　处：ETRI Journal. 1989 ;11(4):139-149.

出版社：Electronics and Telecommunications Research Institute

文章 ID：114422120

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3.Sub-micron패턴 형성을 위한 축대칭 이온광학계의 성능해석

作　　者：Lee, Jong-Hyeon ;Jang, Won-Ik ;Yu, Hyeong-Jun

出　　处：ETRI Journal. 1989 ;11(1):75-88.

出版社：Electronics and Telecommunications Research Institute

文章 ID：114422159

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