文章基本信息
- 标题：Excimer Laser를 이용한 노광기술-II. Excimer Stepper의 특성 및 설계조건분석
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- 作者：Lee, Jong-Hyeon ; Kim, Bo-U
- 期刊名称：ETRI Journal
- 印刷版ISSN：1225-6463
- 电子版ISSN：2233-7326
- 出版年度：1989
- 卷号：11
- 期号：4
- 页码：139-149
- 语种：Korean
- 出版社：Electronics and Telecommunications Research Institute
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