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标题：Excimer Laser를 이용한 노광기술-I. 광노광 기술의 추이 및 성능개선방안
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作者：Lee, Jong-Hyeon ; Kim, Bo-U
期刊名称：ETRI Journal
印刷版ISSN：1225-6463
电子版ISSN：2233-7326
出版年度：1989
卷号：11
期号：4
页码：128-138
语种：Korean
出版社：Electronics and Telecommunications Research Institute

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