文章基本信息
- 标题：Sub-micron패턴 형성을 위한 축대칭 이온광학계의 성능해석
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- 作者：Lee, Jong-Hyeon ; Jang, Won-Ik ; Yu, Hyeong-Jun 等
- 期刊名称：ETRI Journal
- 印刷版ISSN：1225-6463
- 电子版ISSN：2233-7326
- 出版年度：1989
- 卷号：11
- 期号：1
- 页码：75-88
- 语种：Korean
- 出版社：Electronics and Telecommunications Research Institute
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