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1篇

出版年度

2011

1篇

作者

	Kenichi SATO	1篇
	Naoki TAKANO	1篇
	Seiichi UESUGI	1篇
	Toru YAMASAKI	1篇
	Toshiyuki TORIYAMA	1篇

来源期刊

Journal of Computational Science and Technology

1篇

学科主题

计算机的应用

1篇

语种

日文

1篇

国别/地区

日本

1篇

检索条件:"( ( 高级检索(( ((AU:(("Toshiyuki TORIYAMA")))) )) ) )"

共 1 条记录

排序：全选导出：

1.Calibration of Wet Etching Parameters for Sacrifice Layer of MEMS

作　　者：Naoki TAKANO ;Kenichi SATO ;Toshiyuki TORIYAMA 等

出　　处：Journal of Computational Science and Technology. 2011 ;5(3):106-119.doi:10.1299/jcst.5.106

出版社：The Japan Society of Mechanical Engineers

文章 ID：103919480

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