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标题："MARORA"—A Plasma Selective-oxidation Apparatus for Metal-gate Devices
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作者：Tadashi Terasaki ; Masayuki Tomita ; Katsuhiko Yamamoto 等
期刊名称：Hitachi Review
印刷版ISSN：0018-277X
出版年度：2008
卷号：57
期号：03
出版社：Hitachi Ltd
关键词：Plasma Processing;Metallic Materials;Plasma Method;Semiconductor Devices