文章基本信息

标题：High aspect ratio 10-nm-scale nanoaperture arrays with template-guided metal dewetting
本地全文：下载
作者：Ying Min Wang ; Liangxing Lu ; Bharathi Madurai Srinivasan 等
期刊名称：Scientific Reports
电子版ISSN：2045-2322
出版年度：2015
卷号：5
期号：1
DOI：10.1038/srep09654
语种：English
出版社：Springer Nature
摘要：We introduce an approach to fabricate ordered arrays of 10-nm-scale silica-filled apertures in a metal film without etching or liftoff. Using low temperature (