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标题：電気光学ポリマーを用いた4μmピッチ光フェーズドアレイによる偏向動作
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作者：平野芳邦 ; 宮本裕司 ; 本山靖等
期刊名称：映像情報メディア学会誌
印刷版ISSN：1342-6907
电子版ISSN：1881-6908
出版年度：2019
卷号：73
期号：2
页码：392-396
DOI：10.3169/itej.73.392
出版社：The Institute of Image Information and Television Engineers
摘要：高速・省電力・小型・軽量な光ビーム制御デバイスの実現を目指し，電気光学（EO）ポリマーを用いた光導波路構造の光フェーズドアレイ（Optical Phased Array: OPA）の研究を進めている．OPAの光偏向動作では，出射部での光導波路ピッチにより，その最大偏向角度が制限される．本研究では，OPAの出射部とピッチコンバータにおけるクロストーク解析に基づき，ポリマー光導波路の狭ピッチ化の指針を明らかにし，4μmピッチの出射部を有する8チャネル光導波路構造のEOポリマーOPAを設計・試作した．試作した素子による偏向動作実験を行い，200 kHzの高速光ビーム走査と，22.1度の最大偏向角を実証した．
关键词：光フェーズドアレイ;電気光学ポリマー;光導波路