昆虫の歩行・走行も目を見張るものがある．例えば，アリは壁や天井を水平な地面と同じように自由自在に歩行し，自重以上のエサを運ぶことができる．これは昆虫の寸法が人間と比較して小さいため，重力の影響が小さくなり，相対的に摩擦力や表面張力などの力の影響が大きくなっているためである．本稿では，微小な昆虫の歩行・走行時に足裏に作用する力を可視化するための新たなセンサデバイスとして，著者らが研究するMEMSを用いたフォースプレートについて概説・紹介する．フォースプレートはプレートに作用する2軸方向の力をプレートを支えるビームに形成したピエゾ抵抗の抵抗値の変化から分解能1µN以下で検出可能である．試作したフォースプレートを用いて，歩行中のクロヤマアリの各脚に作用する足裏反力の計測結果について紹介する．