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标题：真空マイクロエレクトロニクス
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作者：山岸敏郎 ; 江上典文 ; 佐藤史郎等
期刊名称：映像情報メディア学会誌
印刷版ISSN：1342-6907
电子版ISSN：1881-6908
出版年度：1997
卷号：51
期号：12
页码：2004-2012
DOI：10.3169/itej.51.2004
出版社：The Institute of Image Information and Television Engineers
摘要：微小な真空管技術と半導体技術が組合された「真空マイクロエレクトロニクス」では, 負性電子親和力特性を有する冷陰極材料や新しい薄膜冷陰極の開発が活発になってきている。また, 冷陰極の応用についても, 当初のディスプレイに加えて, 撮像素子などさまざまな新しいデバイスの試作が進められてきており, 研究の幅が一段と広がってきているように思われる。本稿では, 特にこうした最近の話題を中心に, その研究展開を概説する.