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标题：マイクロカンチレバー上に形成した金属膜の機械的共振周波数への影響
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作者：黒江章郎 ; 村田明夫 ; 村松小百合等
期刊名称：映像情報メディア学会誌
印刷版ISSN：1342-6907
电子版ISSN：1881-6908
出版年度：1997
卷号：51
期号：5
页码：733-736
DOI：10.3169/itej.51.733
出版社：The Institute of Image Information and Television Engineers
摘要：マイクロカンチレバー上に形成した金属膜の機械的共振周波数への影響に関して検討した.片持組合せ梁のモデルを用いて導出した式の計算値と試作した複合構造のマイクロカンチレバーの測定共振周波数がほぼ一致し, 最高1.07MHzの共振周波数を実現した.
关键词：AFM;マイクロカンチレバー;MFM;機械的共振;組合せ梁;片持梁