文章基本信息
- 标题：표면 분석기술의 반도체 응용 (II)-SEM 을 이용한 분석기술
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- 作者：Baek, Mun-Cheol
- 期刊名称：ETRI Journal
- 印刷版ISSN：1225-6463
- 电子版ISSN：2233-7326
- 出版年度：1988
- 卷号：10
- 期号：1
- 页码：53-63
- 语种：Korean
- 出版社：Electronics and Telecommunications Research Institute
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