文章基本信息
- 标题：반도체기술 개발을 위한 XPS의 이용
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- 作者：Yun, Seon-Jin ; Park, Seong-Ju ; Kwon, Oh-Joon 等
- 期刊名称：ETRI Journal
- 印刷版ISSN：1225-6463
- 电子版ISSN：2233-7326
- 出版年度：1988
- 卷号：10
- 期号：3
- 页码：230-241
- 语种：Korean
- 出版社：Electronics and Telecommunications Research Institute
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