文章基本信息

标题：$C_2F_6$/$CHF_3$ 반응성이온 건식식각 공정시 실리콘 표면에 생성된 잔류막과 표면구조의 연구
作者：Yun, Seon-Jin ; Jang, Sang-Hwan ; Gwon, O-Jun 等
期刊名称：ETRI Journal
印刷版ISSN：1225-6463
电子版ISSN：2233-7326
出版年度：1989
卷号：11
期号：1
页码：89-96
语种：Korean
出版社：Electronics and Telecommunications Research Institute