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标题：초고집적 소자제조용 감광재료의 특성 및 레지스트 공정
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作者：Lee, Jae-Sin
期刊名称：ETRI Journal
印刷版ISSN：1225-6463
电子版ISSN：2233-7326
出版年度：1989
卷号：11
期号：1
页码：123-135
语种：Korean
出版社：Electronics and Telecommunications Research Institute

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