文章基本信息
- 标题：반도체 소자의 투과 전자 현미경(TEM) 관찰을 위한 단면 시료 제작 기술
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- 作者：Cha, Ju-Yeon ; Gwon, O-Jun ; Lee, Jin-Hyo 等
- 期刊名称：ETRI Journal
- 印刷版ISSN：1225-6463
- 电子版ISSN：2233-7326
- 出版年度：1989
- 卷号：11
- 期号：3
- 页码：65-72
- 语种：Korean
- 出版社：Electronics and Telecommunications Research Institute
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