文章基本信息
- 标题:$As^+$이온주입 단결정 실리콘의 Ellipsometric 연구
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- 作者:Kim, Sang-Gi ; Lee, Won-Hong ; Gwak, Byeong-Hwa 等
- 期刊名称:ETRI Journal
- 印刷版ISSN:1225-6463
- 电子版ISSN:2233-7326
- 出版年度:1989
- 卷号:11
- 期号:3
- 页码:23-31
- 语种:Korean
- 出版社:Electronics and Telecommunications Research Institute