文章基本信息
- 标题：저에너지 광이온선(Broad Ion Beam)을 이용한 건식식각 및 박막증착
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- 作者：Sim, Gyu-Hwan ; Choi, Young-Kyu ; Yang, Jeon-Wook 等
- 期刊名称：ETRI Journal
- 印刷版ISSN：1225-6463
- 电子版ISSN：2233-7326
- 出版年度：1991
- 卷号：13
- 期号：2
- 页码：91-98
- 语种：Korean
- 出版社：Electronics and Telecommunications Research Institute
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