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标题：절연막을 이용한 자기정렬 이중 리세스 공정에 의한 전력 MESFET 소자의 제작
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作者：Lee, Jong-Ram ; Yoon, Kwang-Joon ; Maeng, Sung-Jae 等
期刊名称：ETRI Journal
印刷版ISSN：1225-6463
电子版ISSN：2233-7326
出版年度：1991
卷号：13
期号：4
页码：10-24
语种：Korean
出版社：Electronics and Telecommunications Research Institute