高輝度, 高発光効率の緑色発光EL素子を, 発光層のZnS : TbF3膜の形成にスパッタ法を用いることで実現した.発光効率は従来の蒸着法に比べて約4倍の0.8lm/Wであり, 輝度は5kHzで1000fL以上である.これらはスパッタ法により, 発光中心のTbF3がZnS膜中に均一に分布すること, 発光閾電界が高くなったことによると考えている.