原画の読取り電子走査ファクシミリの送画装置を, 微小記録に電子ビーム露光装置を用いた実験である.送画方式は, 光源にファイバー光学管を密着式フライング・スポット管として使用, 原画はB5版フィルム, 水平走査60Hz, 水平解像度8本/mm, 画線密度10本/mmである.記録方式は記録体にKPRを塗布したシリコン・ウエハーを使用し, 電子ビーム露光後, 現像, エッチングを行なう.縮少率は約1/100である.