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标题：Dirt Classification of Silicon Wafers Based on Deep Learning
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作者：Xingxing Li ; Chao Duan ; Yan Zhi 等
期刊名称：IOP Conference Series: Earth and Environmental Science
印刷版ISSN：1755-1307
电子版ISSN：1755-1315
出版年度：2021
卷号：632
期号：5
DOI：10.1088/1755-1315/632/5/052080
语种：English
出版社：IOP Publishing