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标题：Green cyber-production of semiconductor electronic
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作者：A V Shukalov ; I O Zharinov ; O O Zharinov 等
期刊名称：IOP Conference Series: Earth and Environmental Science
印刷版ISSN：1755-1307
电子版ISSN：1755-1315
出版年度：2020
卷号：548
期号：5
DOI：10.1088/1755-1315/548/5/052047
语种：English
出版社：IOP Publishing